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为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)和《****财政厅****政府采购意向公开工作的通知》(桂财采〔2022〕84号)等有关规定,现将****科研设备采购2024年4月至5月采购意向公开如下:
1 | 科研设备采购 | 1、脉冲激光沉积系统1套 参数:1.靶台:采用磁力耦合旋转机构,包括4个1寸靶位,可以自转、公转和摇摆; 2.样品台:采用红外激光加热,最高加热温度 1100°C±1°C,加热区域直径15mm; 3.固体激光器,**镭宝Nimma-900,能量90mJ@266nm。 2、 穆勒矩阵光谱椭偏仪1套 参数:1.光谱范围:380nm-2500nm 2.微光斑尺寸:直径200μm 3.入射角范围:45-90° 4.膜厚重复性测量精度:优于0.005nm (100nm SiO2/Si,30repeats,1σ) 5.折射率重复性精度:优于0.0002nm (****@632.8nm,100nm SiO2/Si,30 repeats,1σ) | 120.5000 | 2024年05月 | 支持中小企业发展政策 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
2024年04月22日